提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模，建立数字灰阶无掩模光刻系统，在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列，以此阵列为母板，采用复制方法，制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明：数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑，形貌良好；复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰，表面光滑，焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。