分析了中小功率射频激励CO2激光器电源的结构和各模块功能.然后以25W射频激励CO2激光器电源为例,给出了采用新型高频、大功率晶体管放大器模块的新型电源设计方案.同时,通过温度传感器获取激光放电管温度,通过反馈回路获取电源系统的电流、电压,对整个电源系统提供过热、过流、过压保护.然后分析了电源与激光管的阻抗匹配以及电源的调制问题.按要求设计制造的电源,体积小、成本低、调试方便、运行稳定.