提出了一种表面粗糙度测量的新方法.该方法采用了微分偏振干涉的原理,利用由法拉第磁光调制器所组成的调制系统对偏振干涉光路的位相进行调制,利用锁相干涉原理对位相进行探测.该方法可实现无参考面快速非接触测量,在普通实验条件下,也可保持良好的稳定性.实验装置即可给出表面的轮廓又可给出其它统计数据,其横向分辨率为1.2 μm,纵向为2 nm.

照射在样品表面的激光束随着表面粗糙度的不同，反射光密度分布将不同；表面粗糙度增大时，反射光密度将被扩展。本文根据这一原理，提出一种使用激光束快速测量表面粗糙度的无触点光学法。通过测量反射光密度分布曲线的半宽度，由高斯曲线系数的标准差计算表面粗糙度。文中给出了测量结果。