准分子激光作为当前光刻装置的主要光源,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了改善其光束强度分布的均匀性,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器。从理论上分析了其工作原理及设计加工要求,计算了最佳均匀截面位置,并与普通棱镜均匀器进行了比较。实验中根据经梯形棱镜折射后光束能量在中间较强光束的本底基础上进行三分互补叠加的原理,实现了其与普通棱镜均匀器在二维方向上的组合使用;通过调节均匀器与接收屏之间的距离并同时记录每一位置处光束光斑的能量分布改善情况,确定了最佳均匀截面位置并与理论计算相吻合。

东芝公司于五月三十一日宣布，采用CO2激光器和多关节机器人的组合，在日本首次研制成三维激光加工装置。能够把二氧化碳激光加工机与机器人组合在一起(以前要做到这一点，感到很困难)， 主要是由于研制成了一种传输大功率激光用的灵活的导光管,借此能把10.6微米的激光自在地传送出来。东芝的三维激光加工装置可在工件的内侧和壁面进行焊接、切割等加工，因而开辟了以前的激光加工装置无法胜任的新领域。