基于0.2 μm SOI RF工艺平台，设计了串联支路、并联支路、单刀单掷、单刀双掷等电路结构，分析研究了单级宽度、级联数目、偏置电阻、偏置电压等设计参数对射频开关小信号特性的影响。通过实验数据，讨论各参数对射频开关小信号特性，主要包括射频开关的插入损耗和隔离度的影响，为射频开关设计提供参考。