提出了具有两重外腔的自混合干涉。根据半导体激光器的自混合干涉理论,研究了两重外腔自混合干涉模型,及其信号的调制和解调方法。该方法用一个附加的参考反射镜在半导体激光器(LD)和目标间形成两重外腔,参考外腔用于补偿光学频率涨落引入的相位误差。用快速傅立叶变换相位探测技术(FFT)分析自混合干涉信号。运用这些方法,可提高相位测量精度,在微光机电系统、光学工程和其他工程应用上有潜在的实用价值。