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  1. 五角棱镜在建立大尺寸平面基准中的应用

  2. 从五角棱镜的原理和特性出发,叙述了利用五角棱镜扫描建立大平面基准过程中,由于加工角差和当五角棱镜相对入射光束有相对运动时其出射光束的横移对平面基准的影响,提出了用衍射成像技术消除光束横移,数据计算修正棱镜的角度差的影响。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-11
    • 文件大小:810kb
    • 提供者:weixin_38724247