研究了一种新型的有表面凹槽的亚波长金属光栅结构, 通过改变表面凹槽填充物的折射率, 可调控该结构的远场透射效率, 在光学探测、生物传感等方面具有应用前景；结合金属波导理论, 提出一种基于亚波长金属光栅波导结构的新型超分辨光刻方案, 入射光波长为436 nm时, 最高刻写分辨率可达34 nm。