商用准分子激光器是一种高压激光器，它以两个延长的金属电极间产生强电流、短时间的放电潋发激光介质。用惰性气体卤素混合物作激光介质。放电斯间，激光介质中形成惰性气体-卤化物分子(称为受激准分子或受激态复合物)，这些分子在随后的衰变过程中发射紫外光。在其最大功率达几兆瓦的今天，商用仪表提供的平均功率最多只有150 W，脉冲能量达2 J,而每秒能重复1000次。