由纳秒脉冲激光激发脉冲氙气流(气云),获得“清洁”(无碎片)脉冲软X射线源。用X射线多层聚焦镜得到18nm的射线像。用宽带非周期多层镜和大孔径透射光栅的消像散光谱仪,记录了射线源12.5~25nm区的光谱。借助绝对校准的高速X射线电二极管AXUV-5确定了软X射线产额。