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  1. 以1个原子的厚度控制Ge晶体生长的原子层外延技术

  2. 日本电报电话公司推出以1个原子的厚度精确控制在半导体衬底上生长Ge晶体的原子层外延技术。用Ge和由甲基组成的气体为原料,利用光(紫外光)的作用,促成此项技术得以实现。现在己造成10个原子层左右,对多层化和结晶性的评价是今后的课题。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-25
    • 文件大小:1048576
    • 提供者:weixin_38536349