一、引言应变测量在力学、材料科学和工程领域是非常重要的。在许多光学测量技术中，衍射法可直接提供应变信息。Ball[1]首先使用了衍射光栅应变规，这种应变测量技术一直在发展，目前已得到广泛应用。本文以光栅衍射法为基础，利用位敏探测器和衍射光栅提出一种可替代电阻应变规的新型实用光学应变传感器，所用仪器设计原理和数据处理技术都不同于传统的方法。这种新型传感器可进行动态应变测量，测量范围大，传感器的灵敏度为1me，空间分辨率为0.1mm，优于以往的所有应变传感器。新型光学应变传感器的突出特点是： ①非接

摘 要：主要概述SuperCCD、CMOS图像传感器、C3D、APDIS、ARAMIS、FoveonX3全色CMOS图像传感器、VMIS、薄膜ASIC图像传感器、SeeMOS图像传感器等新颖固体图像传感器的发展现状。此外，简单介绍其应用市场和主要技术。       关键词：电荷耦合器件；CMOS图像传感器；数码相机；数字摄像机；综述       1 引言       固体图像传感器属于光电子产业领域的光电子成像器件。随着数码技术、半导体器件制造技术、光电子技术及网络技术的迅速发展，目前市

“三深”（深海、深地、深空）和“三极”(南极、北极、青藏高原)是重要的战略空间，蕴含着丰富的未知资源，开发重大关键技术和装备对 “三深”和“三极”资源进行探测，关系到国家的可持续发展和战略安全。压力是其中重要的监测参数之一，但极端环境下传统的压力传感器在抗环境干扰、体积、质量等方面已难以满足要求。天津大学精密仪器与光电子工程学院刘铁根教授课题组在国家重大科学仪器设备开发专项“光纤力热复合测试仪开发和应用”和国家自然科学基金仪器专项“飞机大气压力光纤传感阵列监测仪”项目实施中，结合MEMS微加工技