表面弹性波式进气歧管压力传感器如图1所示。它是在一块压电基片上用超声波方 图1 表面弹性波式进气歧管压力传感器 　　法加工出一薄膜敏感区，上面刻制换能器（压敏SAW延时线），换能器与电路组合成振荡器。为了提高测量 精度，补偿温度对基片的影响，在薄膜敏感区边缘设置另一只性能相同的换能器（温基SAW延时线）。换能 器是在抛光的压电基片上设置两个金属叉指构成，若在输入换能叉指T1上加电信号，便由逆压电效应在基片 表面激励起弹性表面波，传播到换能叉指T2转换成电信号，经放大后反馈到T1以便保持振荡状