半导体电容一般是皮法 （pF） 级或纳法（nF） 级。许多商用 LCR 或电容表可以使用适当的测量技术测量这些值，包括补偿技术。但是，某些应用要求飞法 （fF） 或 1e-15级的非常灵敏的电容测量，包括测量金属到金属电容、晶圆上的互连电容、MEMS器件如开关、或者纳米器件上端子间的电容。如果没有使用适当的仪器和测量技术，我们很难测量这些非常小的电容。　　通过使用工具，如选配4215-CVU电容电压单元（CVU）的Keithley 4200A-SCS参数分析仪，用户可以测量各种电容，包括《1 p