我们研究了一种完全无机透明的阻挡层，该阻挡层由使用等离子体增强化学气相沉积的SiNx层和通过等离子体气相沉积的非晶态铟-锌-氧化物（a-IZO）层交替组成。 完全的无机薄膜阻挡层显示较低的水蒸气透过率（WVTR）为5.21 x 10（-4）g / m（2）/天，通过钙（Ca）腐蚀测试评估了三倍的SiNx / a-IZO堆叠。 结果，用层压的SiNx / a-IZO势垒封装的有机发光二极管（OLED）在环境和驱动条件下显示出更长的连续工作寿命。 这意味着完全无机封装的结构非常适合阻止水和氧气的渗透