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搜索资源 - 傅里叶变换轮廓仪中CCD的非线性对光谱重叠和测量精度的影响
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傅里叶变换轮廓仪中CCD的非线性对光谱重叠和测量精度的影响
在傅里叶变换轮廓测量(FTP)中,我们必须限制由非线性非线性引起的频谱重叠。 电荷耦合器件(CCD),并提高了物体形状的测量精度。 首先,从理论上分析了产生高阶谱分量和引起谱重叠的原因,并给出了简单的物理解释和分析推论。 其次,为抑制频谱重叠,提高测量精度,分析了投影光栅的空间载频对其的影响。 提出了一种提高投影光栅空间载频以显着抑制或减少光谱重叠的方法。 然后,我们分析了如何减少频谱重叠的机制。 最后,仿真结果和实验测量结果验证了所提出的理论和方法的正确性。
所属分类:
其它
发布日期:2021-03-05
文件大小:747kb
提供者:
weixin_38701156