极紫外光刻光学检测通常使用光纤点衍射干涉仪，光纤衍射的圆偏振态光束可以提高干涉条纹的对比度、减小衍射球面波的像散，对于提高检测精度有十分重大意义。用穆勒矩阵分析了相位控制型偏振控制器的工作原理，得到只需两个控制通道就可以调控到圆偏振态的结论。设计了光纤点衍射干涉仪球面参考源的偏振控制系统，并用琼斯矩阵分析了光束经过偏振控制系统后的光强变化，得到光强最小时两个控制通道的控制电压。在理论分析基础上搭建了球面参考源的偏振控制系统，获得了圆偏振态所需的控制电压，并将其输入偏振控制器调控得到圆偏振光，实验