用于Ar准分子激光微光刻光源系统和其他光学表面（例如，在透镜，棱镜等中）的大入射角（68度至75度）的P偏振光减反射膜被广泛使用，以抑制不希望的反射。 因此，设计并制造了入射角为74度的P偏振193 nm激光增透膜。 结果表明，镀膜后，光学元件的驻波反射显着降低，这可以大大提高DUV范围内光学元件的输出效率。 （C）2013 Elsevier BV保留所有权利。