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  1. 共路外差表面轮廓仪

  2. 本文提出了一种改进的外差共路干涉仪,用于表面粗糙度的测量,它对机械振动、温度变化等极不敏感,纵向分辨率为0.1nm,可用于表面粗糙度的实际检测工作.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：653kb
    • 提供者：weixin_38586118