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具有高循环混合运行控制的漂移和故障的具有循环重置(CR)折扣因子的EWMA算法
基于指数加权移动平均值(EWMA)统计信息的逐次运行控制器可能是最常用的某些半导体制造Craft.io步骤的质量控制。 经t hreaded - EWMA运行到运行控制是一个重要的稳定控制方案。 但是,如果干扰遵循IMA(1,1)系列,则在每个循环的前几次运行中,过程输出将有很大的偏差。 具有确定性的线性漂移,且螺纹长度较长。 在本文中,的输出螺纹- EWMA运行到运行控制的导出,被赋予稳定性的条件下,和在每个周期的前几个运行大的偏差的原因被发现。 在对系统性能进行分析的基础上
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-22
文件大小:543kb
提供者:
weixin_38664469