七十年代中期，准分子激光以新体系、新波长为主要研究目标，使它成为新型气体激光器的一个重要分支。近年来，准分子激光的发展在于大功率、高重复率、改变脉冲时间等方面,与此同时，继续发展新的泵浦技术和新的体系，并用准分子激光器作为泵浦源产生新的激光辐射。本文就以上几个方面综述最近的进展。

1975年首次演示稀有气体卤化物准分子激光器以来，这种激光器已被热情地誉为新一代紫外激光器,一次紫外革命,是气体激光器的一匹新骏马。与以前发展的激光器相比较，由于设计上与其他放电激光器基本相同以及明显的商业应用潜力，准分子激光技术已取得惊人的进展。自从放电准分子激光器问世以来的五年中，实验演示已达到了焦耳级脉冲能量,平均输出功率为860瓦。

分子激光冷却是实验上产生冷分子的最重要进展之一。要找到适合做激光冷却实验的候选分子，就需要了解这些分子的结构参数和光谱数据，这些参数是选择分子的重要依据。详细计算了分子的X 态和A 态振动能级跃迁的Franck-Condon 因子以及转动超精细能级结构，考虑到分子的核自旋、激发态寿命、跃迁能级波长、暗态等参数，提出了一种新的适合进行激光冷却的候选分子（氟化镁），选择适当的能级跃迁来构建一个准闭合的能级系统。这些参数为光谱数据的实验测量提供了理论依据，为进一步的激光冷却实验奠定了基础。