对全固化激光器输出激光的强度噪声谱进行了理论分析与实验测定,设计了由三镜环行腔构成的模清洁器,利用它过滤高频噪声的特性使单频Nd:YVO4激光器的强度噪声降低,通过模清洁器之前激光在30MHz才能达到散粒噪声极限,通过模清洁器之后在7MHz处便达到散粒噪声基准。设计中兼顾了窄线宽与透过效率两方面要求,模清洁器的透过效率为70%。