Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档pdf,Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档XL系统组件 该新型系统的基础组件是一个轻型激光头(XL-80 和一个独立的补偿单元系统(XC-80 测量光学镜组 XL-80 USB 温度传感器 USB XC-80 XL-80激光系统 XL-80激光系统可以产生极其稳定的激光 光束,采用的波长可溯源至国家和国际标准 激光稳频精度为1年内±0.05ppm,1小时内 ⅩL80和XC80可经由USB直接与计算机连接,无 0.02ppm。这种优

摘要：简要介绍了双频激光干涉仪的组成和工作原理，并介绍了一种快速调整激光干涉仪准直 的方法以及检测机床定位精度时的注意事项.