从生物化学和蛋白质的裂解机制出发,提出一种新的重铬酸盐明胶(DCG)浮雕形成方法――化学裂解刻蚀法。由于化学裂解试剂较胰蛋白酶具有少得多的作用位点,化学裂解方法比明胶酶蚀方法具有更高的刻蚀分辨率。实验考察表明,化学裂解方法可以获得500lines/mm的刻蚀分辨率。应用化学裂解方法,利用投影曝光系统和灰度掩摸,制作了单元线宽为30μm,深度为0.8μm的连续浮雕明胶微棱镜列阵。

在分析未硬化重铬酸盐明胶水洗显影工艺沟形保真能力差的原因的基础上，提出了用预硬化明胶来制作高保真沟形微光学元件的酶蚀显影技术。并实验验证了这种技术的可行性。初步结果令人满意。