随着现代工业的飞速发展， 对工况参数的实时监测越来越重要。参数的监测分为电量和非电量两大类， 对于非电量参数的测量， 测量成功与否主要取决于传感器的质量和对信号的提取。由于电容传感器具有结构简单、功耗低、测量范围大、稳定性好、灵敏度高、使用寿命长及可以进行非接触测量等特点， 非常适合在高潮湿、高尘埃、强辐射及超低温等恶劣环境下长期使用，因此， 对于某些变化缓慢或微小物理， 比较适宜采用电容传感器进行测量。      目前用于测量微电容的方法主要是交流法， 其测量原理是通过激励信号对被测电容连续