压电陶瓷是一种能够将机械能和电能互相转换的功能陶瓷材料，属于无机非金属材料，压电陶瓷具有敏感的特性，可以将极其微弱的机械振动转换成电信号，可用于声呐系统、气象探测、遥测环境保护、家用电器等等。压电陶瓷经过电压驱动后，会发生微小位移，为了检测压电陶瓷的性能，通常需要检测在不同电压情况下，压电陶瓷所产生的微位移大小，传统的压电陶瓷位移测量方法有两种，分别是机械测量法和电涡流位移计法，其中，机械测量法在测量位移时，相对误差比较大、操作复杂，而电涡流位移计测量法，受电磁干扰影响比较大。为了解决上述技术问
