压电陶瓷驱动器具有位移分辨率高、体积小、响应快、输出力大、不发热等优点, 但其固有的迟滞、蠕变和非线性, 严重影 响了它的定位精度。在大行程微动工作台中, 需要借助于位移放大机构来克服压电陶瓷驱动器位移行程小的缺点, 但放大机构 在放大位移的同时, 也放大了压电陶瓷蠕变和迟滞误差的影响。本文通过对一种大行程压电陶瓷微动工作台蠕变特性的研究 性实验, 得到了该机构的蠕变特性曲线, 找到了压电陶瓷驱动器蠕变的规律, 为进一步修正和减少蠕变误差的影响、提高系统的 定位精度, 提供了科学的依据。