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  1. 厚二氧化硅光波导薄膜的制备

  2. 随着光通信的飞速发展，Si基SiO2平面光波导集成器件的应用更加重要和广泛。在Si基上制备高质量的厚SiO2薄膜，是制作SiO2光波导及其集成器件的基础。本文介绍了Si基厚SiO2薄膜的几种制备方法。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：355kb
    • 提供者：weixin_38635092