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  1. 单晶锗双面抛光 双抛技术

  2. 单晶锗 双面抛光技术 锗双抛技术 锗的双抛技术

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2012-04-12
    • 文件大小：147kb
    • 提供者：gaochaoq510

  1. 双面抛光

  2. 对大直径晶圆许多要求之一是平整和平行的表面。许多300毫米晶圆的制造采用了双面抛光，以获得局部平整度在25´25毫米测量面时小于0.25微米到0.18微米的规格要求。4缺点是在后面的工序中必须使用不划伤和不污染背面的操作技术。   

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：19kb
    • 提供者：weixin_38632825

  1. 使用嵌入式裂环谐振器的双频超导带通滤波器

  2. 在本文中，一种超导YBa2Cu3Oy（YBCO）滤波器采用了两组八边形半波长裂环谐振器，它们被设计为产生两个尺寸紧凑的通带。 下通带的中心频率可以通过带有加载螺旋的外部谐振器进行调谐，而上通带的中心频率可以通过具有叉指结构的内部谐振器进行调整。 它们都提供足够的自由度，以独立地控制两个通带的中心频率和分数带宽。 另外，一对侧耦合短截线用于控制较低通带的带宽，而叉指结构则用于调整内部开口环谐振器（SRR）之间的耦合强度。 基于上述设计方法，本文提出了一种双频超导椭圆函数响应带通滤波器，其工作频率为

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-23
    • 文件大小：752kb
    • 提供者：weixin_38696590

  1. 新型红外非线性光学晶体SrCdGeSe4生长与性质表征

  2. 锶镉锗硒(SrCdGeSe4)晶体是近期被发现的一种性能优异的新型红外非线性光学材料。本研究采用自制的双温区管式炉成功合成出SrCdGeSe4多晶, 单次合成量达到300 g; 采用坩埚下降法首次生长出SrCdGeSe4单晶, 尺寸为27 mm×80 mm; 通过定向、切割和抛光等程序, 得到几个不同尺寸的定向SrCdGeSe4晶片, 选取一片8×8×2 mm3双面抛光(110)晶片测试了摇摆曲线、红外透过光谱和激光损伤阈值。结果显示: (220)摇摆曲线半峰宽为44.8″, 该晶体的短波透过

  3. 所属分类：其它

  1. 248 nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制

  2. 实验研制了针对波长248 nm KrF准分子激光的零级抑制石英相位掩模器。用双层掩蔽和图形转移技术,在双面抛光的石英基片上以CHF3/O2为反应气体,用反应离子刻蚀技术制作了具有良好完整性、周期1.085 μm的石英相位掩模器。实际测量表明其零级衍射效率被抑制到5.97%。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：720kb
    • 提供者：weixin_38719635

  1. 沉积气压对溅射氮化铝薄膜结构和光学性能的影响

  2. 采用射频反应磁控溅射系统，在K9双面抛光玻璃基底上制备氮化铝薄膜，通过实验测试并结合数值拟合计算研究了其他参数保持不变的条件下，沉积气压对其结构和光学性能的影响。薄膜的微观结构通过X射线衍射和原子力显微镜进行表征；利用光栅光谱仪测试了各薄膜样品的透射谱，在此基础上利用包络线法拟合分析得到了薄膜的折射率。结果表明，所获得的AlN薄膜样品呈晶态，其晶格属六方晶系，沉积气压增大对AlN薄膜的生长取向有一定影响。薄膜在可见光及近红外区域透明，表面平整、致密，结晶状况良好，薄膜的折射率和沉积速率均随沉积气

  3. 所属分类：其它

  1. 锗衬底表面圆柱形仿生蛾眼抗反射微结构的研制

  2. 采用严格耦合波分析方法研究了长波红外波段锗基底的圆柱形周期阵列仿生蛾眼抗反射微结构的衍射特性，并进行理论分析和模拟仿真验证。重点分析了周期、深度、占空比和整体面型轮廓等参数对微结构抗反射特性的影响，得出具有较好抗反射效果的结构组合参数。采用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在锗基底上制备该亚波长周期微结构。通过热场发射扫描电子显微镜对微结构表面形貌进行表征，并应用红外成像光谱仪在长波红外波段分别对双面抛光锗片、单面微结构和双面微结构进行测试对比，结果显示在8~12 μm范围内双面微结构的反射率小于8

  3. 所属分类：其它

  1. 硒化锌衬底表面仿生宽带增透微结构的设计及制作

  2. 采用时域有限差分法研究了硒化锌基底的抛物线型周期阵列仿生微结构的光学性质,重点分析了微结构阵列的周期、高度、占空比和形状轮廓等对反射率的影响,得到了有较好增透效果的结构参数。根据模拟参数进行两次干涉曝光制备掩模,采用反应离子刻蚀技术制备周期阵列微结构。通过场发射扫描电子显微镜对微结构的表面形貌进行表征,并采用傅里叶变换红外光谱仪在中红外波段分别对双面抛光、单面微结构的硒化锌片进行透过率测试。结果表明:单面微结构样品在2~5 μm范围内的整体平均透过率比双面抛光硒化锌基片提高了10%,在2.3 μ

  3. 所属分类：其它