在考虑中红外高反膜系的非均匀吸收情况下，利用ANSYS 有限元分析软件，建立了带高反膜系的变形镜模型。定量分析了连续激光辐照下，变形镜的温升、热形变及其对光束质量的影响。研究结果表明，在使用有限元软件进行分析时，高反膜系的非均匀吸收不可忽略；变形镜极头间距越窄，热形变带来的波前畸变空间频率越高；当入射波前峰谷(PV)值与变形镜热形变面形PV 值相差不大时，热形变带来的影响最明显；在总吸收能量一定的情况下，入射激光功率越大，热形变对光束质量的影响越明显。此外，针对不同的换热条件，讨论了变形镜热形变