现代精密光学系统的发展，对光学元件的加工和检测提出了非常严格的要求，达到纳米量级。相移式点衍射干涉仪是一种应用在纳米精度检测中的常用干涉仪，其参考波前由直径在几百纳米量级的小孔衍射产生，其衍射波前与理想波面的误差，决定了干涉仪的检测精度。基于有限元方法，计算了聚焦入射情况下，不同直径小孔的衍射波面。分析了聚焦斑发生对准误差和倾斜误差下，对衍射波面的影响。