本发明提出一种用于多晶硅副产物四氯化 硅处理的脱酸器，包括：脱酸器本体，所述脱酸器 本体内限定有脱酸腔，所述脱酸器本体的上部设 有尾气出口和脱酸器出料口，所述脱酸器本体的 下部设有脱酸蒸汽入口和脱酸器进料口；和加热 管，所述电加热管设置在所述脱酸器本体上且伸 入所述脱酸腔内。根据本发明的脱酸器用在用多 晶硅副产物四氯化硅生产二氧化硅中，用于分离 与氯化氢分离后的二氧化硅表面附着的氯化氢， 从而得到二氧化硅产品，脱去的氯化氢可以用于 制酸，该脱酸器脱酸效果好，结构简单，成本低。

四氯化硅作为西门法高纯多晶硅生产中产量最大的副产物,是一种具有强腐蚀性的毒害物质。目前,国内多晶硅的大规模生产即将兴起,解决其副产物四氯化硅的最有效的方法是转化为三氯氢硅。着重介绍了热氢化、冷氢化、氯氢化、等离子体氢化等国内外四氯化硅氢化技术的工艺特点和研究进展。