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  1. 基于偏振相移的大范围衍射光栅位移传感器

  2. 提出并证明了一种改进衍射光栅位移传感器以同时实现纳米级分辨率和扩展操作范围的方法。 该方法利用偏振相移光路来提取具有正交相移的两个正弦信号。 该插值电路用于将两个正弦信号非线性地转换为标准的增量AB正交数字信号,从而以激光相干长度的幅度实现了扩展的工作范围。 这项工作使位移测量能够在较大范围内进行,并为高性能微位移传感器的设计提供了重要指导。
  3. 所属分类:其它