在利用碳纳米管(CNT)制作纳米电子器件时，碳纳米管与金属电极的接触特性将决定器件性能．为此本文提出了一种利用原子力显微镜(AFM)进行碳纳米管焊接的新方法．仿真研究了探针电场的强度与分布，解释了焊接中电场产生的机理，进一步分析了偏压、探针一样品距离与探针悬臂梁偏转位移之间的关系；并通过这些优选的相关实验参数进行了焊接实验验证．实验结果表明，碳纳米管与电极间的接触电阻由2．86×10。n减小至7．14×10 n，并可实现碳纳米管在电极上的良好固定．

探针阳极氧化是构建纳米结构, 制造纳米器件的重要技术之一, 本文对该技术中基于原子力显微镜(AFM)的阳极氧化进行了新的研究. 通过对氧化加工中微观电场在基底表面分布情况进行模拟, 分析了氧化结构的特征与电场分布的关系, 通过实验研究分析了不同加工因素对氧化加工的影响. 在这些研究基础上利用AFM阳极氧化技术实现了对碳纳米管(CNT)的氧化切割及焊接, 为CNT基纳米器件的装配及制备提供了新的技术途径.