探针阳极氧化是构建纳米结构, 制造纳米器件的重要技术之一, 本文对该技术中基于原子力显微镜(AFM)的阳极氧化进行了新的研究. 通过对氧化加工中微观电场在基底表面分布情况进行模拟, 分析了氧化结构的特征与电场分布的关系, 通过实验研究分析了不同加工因素对氧化加工的影响. 在这些研究基础上利用AFM阳极氧化技术实现了对碳纳米管(CNT)的氧化切割及焊接, 为CNT基纳米器件的装配及制备提供了新的技术途径.