针对微光学元件的三维面形检测，提出了利用数字全息显微(DHM)方法实现全视场、非接触式和非破坏性的快速三维定量相衬成像。首先构建了无透镜傅里叶变换数字全息装置，通过对获取的全息图进行单次快速傅里叶逆变换实现数值再现，然后采用两步相位相减法校正相位畸变，利用最小二乘法获得解包裹相位图，进而给出测试样本的面形信息。实验中，对微透镜阵列进行了形貌检测，得到其口径和浮雕深度分别为1.595 mm和2.424 μm，这与采用白光干涉仪获得的结果具有较好的一致性，表明无透镜傅里叶变换数字全息显微术应用于微光