基于虚拟科里奥利力的MEMS陀螺仪比例因子标定新方法

本文提出了一种有效的基于微科里奥利力的微机电系统校准方法。 该方法利用一系列电压信号来模拟科里奥利力输入，并监视陀螺仪的输出以获得陀螺仪的比例因子特性。 陀螺仪的比例因子和偏置参数可以在感测模式开环中方便，高效地进行校准。 基于转盘和虚拟科里奥利力法的比例尺标定误差仅为1.515％，证明了本文方法的正确性。 同时，转盘的非线性和偏置值以及虚拟科里奥利力方法分别为742 ppm，42.04 mV，3389 ppm和0.66 mV。