对微结构光纤磁场传感器的增敏性能进行研究,设计了一种基于飞秒激光微加工的均分直槽型微结构光纤磁场传感器。利用飞秒激光在刻有光纤布拉格光栅(FBG)的单模光纤(SMF)包层上刻蚀均分直槽微结构,并采用HF溶液清除直槽内的残留碎屑和应力集中点,随后用磁控溅射技术在加工部位溅射一层磁致伸缩薄膜TbDyFe。当外界磁场强度变化时,通过观测传感器中心波长的变化可实现对磁场强度的测量。直槽微结构能减小光纤横截面积,改善光纤轴向伸缩性能,增大薄膜附着表面积,从而提高传感器探头灵敏度。理论分析了直槽微结构提高传

提出了一种基于光纤三维微结构加工的磁场传感技术方案。利用波长为780 nm的飞秒激光脉冲在刻写有光纤布拉格光栅(FBG)的单模光纤包层上加工螺旋微结构，并采用磁控溅射方法在其上溅射磁致伸缩膜（TbDyFe），制备了一种新型光纤磁场传感器探头。微结构能改善光纤轴向伸缩性，增加薄膜沉积的表面积，从而提高探头的磁场敏感性。建立了螺旋微结构改善传感灵敏度的理论基础，介绍了光纤磁场传感探头的制备工艺方法与技巧，给出了不同参数传感探头的磁场测试结果。实验结果表明，螺距为50 μm时，对应的传感探头对磁场最为