基于ANSYS悬臂式RFMEMS开关的力学模拟和疲劳分析 李成诗，郭方敏，赖宗声， 葛羽屏，徐欣 朱自强，陆卫(1．华东师范大学电子科学技术系，上海200062；2．中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点实验室，上海200083) 1 引言RFMEMS开关是利用静电吸附力来控制微桥或；悬臂的上下运动从而实现开、关特性，它广泛应用于射频微波、毫米波领域。目前主要有两种MEMS开关类型：悬浮臂接触式和并联电容式。MEMS开关具有低插损(0．1dB)、高绝缘(40dB，2GH2)、易于集成和能

1 引言RFMEMS开关是利用静电吸附力来控制微桥或；悬臂的上下运动从而实现开、关特性，它广泛应用于射频微波、毫米波领域。目前主要有两种MEMS开关类型：悬浮臂接触式和并联电容式。MEMS开关具有低插损(0．1dB)、高绝缘(40dB，2GH2)、易于集成和能处理大功率(1-2W)等优点川。悬浮臂接触式开关由悬臂、金属接触点和静电驱动机械部分组成，其驱动电压相对较低且在实际电路中应用灵活，但其在工艺上实现起来比较困难，可靠性相对较差。对其进行软件模拟，从而对其参数进行优化，可以减少工艺上不必要的