研究了氟化氢(HF)分子浓度以及工作介质消耗对激光脉冲能量的影响。受激光器内基态HF分子对激光的再吸收以及对激发态分子强弛豫的影响, 激光脉冲能量随着激光器内HF分子浓度的升高而明显下降, HF分子浓度每增加1×1015 cm-3, 激光脉冲能量约下降1.15%。1个激发态HF分子约产生0.8个光子, 放电区内SF6气体的分解率约为1%, 单次放电过程中激光器内所消耗的工作介质较少, 约为气体总量的1/(2×105)。实验结果表明：HF分子浓度对激光脉冲能量的影响较大, 介质消耗对激光脉冲能量影