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  1. 复合光源实时微振动干涉测量仪

  2. 提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪.通过采用复合光源和反馈系统,有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响,实现了物体微振动的纳米精度实时测量.

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-05
    • 文件大小：171kb
    • 提供者：weixin_38660108