采用导模传输分析法设计了多模干涉型1×4光功分器。根据所确定的器件结构参数,结合器件设计和制作过程中可能遇到的因素,详细分析了器件中自映像效应多模波导的宽度和长度、波导的折射率等结构参数对器件性能的影响。进行了多模干涉型GaAs1×4光功分器的制作和测试。测试结果表明,所研制的器件实现了1×4光功分器功能。针对实验过程和测试结果中遇到的问题进行了讨论,并提出了进一步完善器件性能的方法。

设计并制作了一种能直接与通信用标准单模光纤阵列相耦合的1×16多模干涉型光功分器。其输入、输出单模波导采用离散谱折射率法优化设计，获得了脊宽为3μm、脊高为2.9μm和理论传输损耗约为0.028dB/cm的单模脊形光波导。分析表明，这种深刻蚀多模干涉型光功分器具有较大的制作容差性、较宽的工作带宽以及几乎可忽略的极化依赖性。测试结果表明，器件实现了1×16光功分器功能。