太赫兹时域光谱技术（THz-TDS）在新型材料表征（如光伏材料）、物质探测以及安全检测方面变得愈发重要。与一般只探测光强的测量方法不同，这种方法可以同时测量振幅和相位，进而能够计算出物质的折射率和吸收系数，而不再需要复杂的数学处理方法。典型的THz-TDS装置由太赫兹产生器、在样品位置聚焦的太赫兹光路以及选通太赫兹探测器组成。然而在聚焦的太赫兹光束中放入具有一定厚度的样品会引起光束焦点的偏移，进而影响样品介电函数的计算准确性。