洁净室的设计是要使生产免污染晶圆的能力更完整化。设计时的主要思路是保持加工车间中空气的洁净。自动化生产也是降低污染的一种重要方法。这个问题将于“工艺设备”一节与第十五章展开讲述。共有四种不同的洁净室设计方法： 1. 洁净工作台 2. 隧道型设计 3. 完全洁净室 4. 微局部环境   

洁净室设计和过滤技术的发展，允许我们又回到敞开式加工区域的建设（见图5.12）, 在最先进的设计中，空气过滤包括天花板中的HEPA过滤器，并从地板上回收空气，保持持续的洁净空气流。工作台顶部带有贯通穿孔，可使空气无阻碍地流过。 图5.12 洁净室空气层流截面图(国际半导体版权所有) Fresh Air新鲜空气 Fan风扇 Service Chase维修区 Slab Floor混凝土层 Plenum高压区 HEPA Filters HEPA过滤器 Clean Room洁净室 Equip设备 Opt