PLC = Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器，一种数字运算操作的电子系统，专为在工业环境应用而设计的。它采用一类可编程的存储器，用于其内部存储程序，执行逻辑运算，顺序控制，定时，计数与算术操作等面向用户的指令，并通过数字或模拟式输入/输出控制各种类型的机械或生产过程。是工业控制的核心部分。 　　横河PLC FA-M3在扩散炉上的应用。扩散炉工作区间内（800到1000mm）一般需要±01℃（个别要求±0.5℃）。扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺