并行差动共焦三维成像方法通过将照明光分割为多光束,实现多点并行探测,解决了传统差动共焦成像中逐点扫描导致的成像效率偏低的问题,是一种理想的快速高精度三维成像方法。然而,在并行差动共焦检测过程中,系统光照不均和光学成像系统的场曲都会引起测量误差。分析了宽场成像过程中不可避免的光照不均及光学系统场曲等因素对并行差动共焦轴向测量的影响,提出了一种宽场误差的修正方法,建立了并行差动共焦轴向测量宽场误差修正的理论模型。实验证明,该方法可以有效地抑制系统光照不均对测量结果的影响,并且校正了光学成像系统场曲等

从一般共焦系统的原理出发, 重点围绕并行共焦方法的三维检测原理, 通过引用三维点扩散函数和矩阵形式, 研究了并行共焦检测方法的理论问题, 确立了点阵并行共焦检测方法的检测过程。 其结果表明, 并行共焦检测过程总的光场分布, 是各条共焦检测光路的求和, 且都符合两个点扩散函数相乘的共焦形式。