1 引言       自1995年纳米压印技术提出以来，人们希望通过该技术实现低成本、高分辨率、高效率、大面积的批量制备纳米结构。但是，传统的热压印技术需要加热、高压环节，从而造成压印环节复杂、难于控制。1999年，美国得克萨斯州大学的研究小组提出一种在室温、低压环境下利用紫外光固化聚合物的紫外纳米压印技术，业已成为纳米压印技术研究的主要方向[l-2]。通过对该技术的研究，我们筛选了一种较为适合紫外压印技术的紫外固化胶，同时利用传统紫外光刻机实现了套刻对准功能。在实验中，制备了具有100 n