基于互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容技术的硅光子器件在超大规模单片光电集成，高速调制和切换以及高效的片外光耦合方面表现出诱人的性能。 本文介绍了我们小组中在快速硅光调制，对波长不敏感的光切换和有效的光耦合技术方面的最新进展。 已经开发出几种具有不同结构的CMOS兼容硅光耦合器，其最高耦合效率为65％。 实验上实现了具有亚纳秒级开关时间的宽带硅基光开关。 具有新型PN结的硅调制器的速度高达50 Gb s（-1）。