本书介绍了应用COMSOL Multiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以典型MEMS建模实例，图文并茂。全书共分5章，第1章概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysies软件中MEMS建立模型的基本过程；第2章以6个典型模型为蓝本，详细介绍了MEMS建模的一般方法；第3、4、5章分别介绍了微传感器、微通道、微压电装置的MEMS建模方法和过程。书中引用的模型实例均为有关领域专家、学者开发，具有高度的可靠性。 本书可供MEMS研究人员和爱好者，以及

MEMS 的全称是微型电子机械系统，利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。具有小体积、低成本、集成化等特点。

现实世界的信息是通过传感器获得的，与人们的生活息息相关。传感器已大举进入工业自动化、汽车工业、航天、生物、医学应用领域，且在无线通信、消费品领域亦有广泛的发展空间。传感器种类繁多，涉及物理、化学、电子、机械、生物、医学等学科。在众多传感器技术中，微系统技术起着关键的作用，利用这一技术已研制了各种类型、性能可靠的传感器。此外，传感器无线网络化也是当前一个热门话题，为传感器应用另辟一条蹊径。本文将详细介绍这方面的发展情况。 微系统技术MST（微系统技术）泛指系统内使用有源和无源两种微结构组件的一门技

微机械惯性传感器检测平台的设计与应用  摘要：一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。     关键词：微机电系统（MEMS） 微机械陀螺（MMG） 检测 随着科学技术的发展，许多新的科学领域相继涌现，其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来，继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后，以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微