Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档pdf,Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档XL系统组件
该新型系统的基础组件是一个轻型激光头(XL-80
和一个独立的补偿单元系统(XC-80
测量光学镜组
XL-80
USB
温度传感器
USB
XC-80
XL-80激光系统
XL-80激光系统可以产生极其稳定的激光
光束,采用的波长可溯源至国家和国际标准
激光稳频精度为1年内±0.05ppm,1小时内
ⅩL80和XC80可经由USB直接与计算机连接,无
0.02ppm。这种优
